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SEM+EDS分析 |
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EDS的工作原理是利用高能电子束轰击样品表面，激发原子内层电子并产生特征X射线，通过测量X射线的能量可以确定元素的种类和浓度。
SEM+EDS分析可以用于检测样品表面的微小缺陷、裂纹、腐蚀等现象，为材料科学、质量控制和失效分析等领域提供重要信息。
在SEM+EDS分析中，样品的制备和处理过程对分析结果有重要影响，需要选择合适的制备方法，避免样品污染和损伤。
在SEM+EDS分析中，可以通过调整电子束的加速电压、束流强度等参数，优化成像效果和元素分析的准确性。
在SEM+EDS分析中，可以通过与其他分析技术如透射电子显微镜（TEM）、X射线衍射（XRD）等结合使用，获取更全面的材料信息。
SEM+EDS分析技术可以用于分析金属材料的晶粒尺寸、形状和分布特征，为金属材料的制备和性能研究提供重要信息。
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