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真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。
真空柱是一个密封的柱形容器。
真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨枪的扫描电镜的真空要求，但对于装置了场致发射枪或六硼化镧枪的扫描电镜,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的密封室，用于放置样品。之所以要用真空，主要基于以下两点原因:电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以除了在使用扫描电镜时需要用真空以外，平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。
为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成象的电子更多。
电子经过一系列电磁透镜成束后，打到样品上与样品相互作用，会产生次级电子、背散射电子、欧革电子以及X射线等一系列信号。所以需要不同的探测器譬如次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。虽然X射线信号不能用于成象，但习惯上，仍然将X射线分析系统划分到成象系统中。
有些探测器造价昂贵，比如Robinsons式背散射电子探测器，这时，可以使用次级电子探测器代替，但需要设定一个偏压电场以筛除次级电子
第三方校准机构需要哪些资质？
第三方校准机构资质重要的就是CNAS，这也是第三方校准机构入行的基础。而CNAS认可的实验室有两种，一种是校准实验室，出具的是《校准证书》，证书上所盖的印章是“校准章”。另一种是检测实验室，出具的是《检测报告》或《测试报告》，所盖的印章是“检测章”。这两种CNAS认可的实验室都是可以做仪器校准的，其所出具的报告都被审核员认可。仪器检测校准
东莞世通仪器检测校准中心占地6亩，实验室面积达1200平方米。校准源，拥有福禄克、惠普、安捷伦、菊水、新天等大批进口国产仪器，覆盖校准检测范围广。中心设有:力学、长度、衡器、电学、电磁、热工、几何量、轻工物性等校准检测实验室。本校准与检测中心可对以上类别范围的各国仪器和相关产品进行校准和检测并出具国际认可的校准证书或检测报告。
本公司轻工产品检测中心拥有各类检测仪器一百余台。产品检测范围为：对各种类成品鞋、鞋材、皮革、纺织、箱包、婴儿车、五金制品、包装、纸等轻工产品的物理性能进行检测。可为客户提供以上类别的产品进行检测和验货服务，并出具有效相关产品检测证书。
